實現(xiàn)智能控制的關(guān)鍵在于全面洞察。要在原子級別實現(xiàn)精度，必須持續(xù)掌握每一個工藝腔室、設(shè)備乃至整條生產(chǎn)線的運行狀態(tài)。以選擇性刻蝕控制為例，隨著器件結(jié)構(gòu)向3納米、2納米邁進(jìn)，其重要性愈發(fā)凸顯——即便是最微小的偏差，也可能導(dǎo)致性能下降或良率損失。

英?？翟跉堄鄽怏w分析領(lǐng)域的創(chuàng)新，展示了如何將智能直接嵌入工藝過程。通過集成如Transpector® APX質(zhì)譜儀等高靈敏度工具至蝕刻腔室，并將SemiQCM集成至沉積腔室，晶圓廠能夠?qū)崟r持續(xù)地監(jiān)測氣體成分與反應(yīng)副產(chǎn)物。這種數(shù)據(jù)驅(qū)動的洞察力使得蝕刻參數(shù)可以精準(zhǔn)調(diào)整，從而在不中斷生產(chǎn)的情況下提升選擇性、保護精密器件結(jié)構(gòu)，并避免代價高昂的工藝漂移。

英?？礣ranspector® APX質(zhì)譜儀

這種納米級的智能控制，通過嵌入式智能，為下一代工藝提供了強大支撐。

智能控制并不局限于工藝腔室。隨著行業(yè)向先進(jìn)封裝轉(zhuǎn)型——將多個芯片與微芯片集成至高性能模塊——制造復(fù)雜度呈幾何級數(shù)增長。協(xié)調(diào)范圍已從前端晶圓生產(chǎn)延伸至后端封裝以及基板供應(yīng)鏈。

英?？档?/span>工廠調(diào)度系統(tǒng)與智能制造解決方案，通過貫通全流程的實時生產(chǎn)數(shù)據(jù)來應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。這種AI賦能的互聯(lián)方法協(xié)調(diào)設(shè)備、物料與物流，能夠確保產(chǎn)品在正確的時間精準(zhǔn)流動，從而消除瓶頸、減少閑置產(chǎn)能，是維持高效率和良率的關(guān)鍵。

英?？抵悄芄S調(diào)度、排產(chǎn)系統(tǒng)Factory Scheduler

英福康FPS 數(shù)字孿生系統(tǒng)，基于實時數(shù)據(jù)精準(zhǔn)預(yù)測，優(yōu)化工廠生產(chǎn)調(diào)度

智能工廠的融合路徑